2020年9月23日下午，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會（SICA）召開會員大會。至純科技（603690）再度榮獲“2019年度上海市集成電路設(shè)備業(yè)銷售前十名”。

　　至純科技創(chuàng)立至今20年。20年來，從成立的第一天開始，就耕耘在進(jìn)口替代的領(lǐng)域。在高純工藝領(lǐng)域，至純科技為中芯、華虹、長鑫、長儲、三星、海力士等用戶提供高純氣體系統(tǒng)和高純化學(xué)品系統(tǒng)。高純氣體系統(tǒng)和用戶的各類干法設(shè)備腔體連成一個工作系統(tǒng)，高純化學(xué)品系統(tǒng)和用戶的各類濕法設(shè)備腔體連成工作系統(tǒng)，和用戶的核心工藝息息相關(guān)。至純在2005年即提出lab2fab的發(fā)展戰(zhàn)略，十?dāng)?shù)年致力于微污染控制和跟動工藝發(fā)展，服務(wù)關(guān)鍵制程，開發(fā)了各種高純介質(zhì)的混配及輸送設(shè)備。2015年開始，公司將戰(zhàn)略方向定在發(fā)展?jié)穹ㄖ瞥淘O(shè)備，并于2017年在上交所上市后投入高密度資源開發(fā)中高階濕法設(shè)備，從IP自主、生產(chǎn)自主到供應(yīng)鏈自主的落實(shí)，取得優(yōu)異成績。雖然是半導(dǎo)體裝備企業(yè)的新兵，但至純科技的中高階濕法設(shè)備已經(jīng)拿到中芯、華虹、華潤、力晶臺灣、燕東、TI、AOS、中車、楚微等用戶的訂單，且多位用戶都有重復(fù)訂單，至今訂單數(shù)量已經(jīng)超過60臺。公司也正全力提升產(chǎn)能過程中。

　　至今出貨的濕法機(jī)臺中，包含S300單片式清洗機(jī)臺、B300槽式濕法機(jī)臺、B200槽式濕法機(jī)臺、B200單片式減薄等機(jī)臺。

　　至純旗下至微科技濕法制程設(shè)備

　　AT-A-GLANCE ULTRON S300關(guān)鍵應(yīng)用：

　　Pre-clean PRstrip（H2SO4recycle）

　　NiPtEtch Backsideclean BEOLPolymer Removal MetalRecycle ULTRONS200關(guān)鍵應(yīng)用：

　　Metal lifter off Backside clean Backside etch(薄片)

　　Wafer scrubber PR strip Metal (Ti/Cu/Al) etch ULTRONB200/300關(guān)鍵應(yīng)用：

　　Gate Oxide Pre Clean RCA clean PR strip Oxide etch Nitride Removal Solvent Clean Wafer Recycle

　　關(guān)注核心工藝，服務(wù)關(guān)鍵制程。至純科技在半導(dǎo)體領(lǐng)域、生物制藥領(lǐng)域和光電子領(lǐng)域耕耘，提供高度專業(yè)化的產(chǎn)品和服務(wù)。隨著產(chǎn)業(yè)的推進(jìn)，至純一直在做更難的事，持續(xù)推進(jìn)核心工藝系統(tǒng)、高端裝備的研發(fā)進(jìn)程，持續(xù)做價值的創(chuàng)造者。

　　至純科技立志成為中國市場的優(yōu)秀專業(yè)廠商，并能代表本土品牌參與國際競爭。