?。ㄓ浾?吳科任）8月27日晚，萬業(yè)企業(yè)（600641）披露2021年半年報。報告期內(nèi)，公司實現(xiàn)營業(yè)收入6.09億元，同比增長28.25%，其中集成電路設備收入同比增長223%；歸母凈利潤為2.79億元，同比增長55.18%；研發(fā)費用為2239萬元，同比增長575.23%。

　　萬業(yè)企業(yè)自2015年開始布局轉(zhuǎn)型，目前聚焦于半導體裝備與材料產(chǎn)業(yè)。公司集成電路核心裝備業(yè)務涵蓋兩方面：一是旗下控股子公司凱世通的集成電路核心設備離子注入機；二是牽頭收購的半導體設備領域精密零部件供應商Compart Systems。

　　離子注入機獲得多個訂單

　　離子注入機是半導體產(chǎn)業(yè)中位于芯片制造前段工序的關鍵設備，價值量較高。上半年，凱世通在離子注入機設備驗證、產(chǎn)品交付、銷售收入以及新訂單簽署等工作上均取得重要進展。

　　一方面，凱世通自主研發(fā)的低能大束流離子注入機率先在國內(nèi)一家12英寸主流集成電路芯片制造廠完成設備驗證工作并確認銷售收入。同時，凱世通重金屬離子注入機和超低溫大束流離子注入機已完成客戶交付，高能離子注入機設備按客戶交付計劃進行組裝。

　　另一方面，凱世通新增與國內(nèi)另一家12英寸芯片制造公司簽署1臺低能大束流超低溫離子注入機和1臺高能離子注入機訂單。

　　市場需求穩(wěn)中有升。中信建投（601066）研報顯示，國內(nèi)晶圓廠以及存儲廠未來2年-3年處于持續(xù)擴產(chǎn)期，為國產(chǎn)設備廠商提供豐厚成長土壤。國內(nèi)主要芯片制造企業(yè)正積極尋求擴產(chǎn)，新增產(chǎn)能合計約52萬片，主要集中在成熟制程，預計新增晶圓產(chǎn)能需采購離子注入機520臺-780臺。

　　此外，目前國際先進集成電路廠商大力發(fā)展FinFET和3D NAND等集成電路技術，將給離子注入機帶來新的需求。

　　境外子公司打入國內(nèi)市場

　　近年來，萬業(yè)企業(yè)已成長為集成電路裝備領域的平臺型公司，擁有國際和國內(nèi)兩種產(chǎn)業(yè)資源。

　　2020年12月，萬業(yè)企業(yè)牽頭境內(nèi)外投資人完成對全球領先的集成電路設備精密零組件及流量控制解決方案供應商Compart Systems收購，間接成為其第一大股東。

　　Compart Systems主要產(chǎn)品包括BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，產(chǎn)品用于集成電路制造工藝中氧化/擴散、蝕刻和沉積等設備所需的精確氣體輸送系統(tǒng)。公司客戶主要為知名的半導體設備商和領先的工業(yè)企業(yè)集團等。

　　報告期內(nèi)，Compart Systems在現(xiàn)有訂單、新客戶拓展、國內(nèi)產(chǎn)能規(guī)劃等方面均取得良好進展。例如，公司的相關產(chǎn)品打入了國內(nèi)集成電路設備公司；簽約浙江海寧新建Compart制造中心，該項目總投資30億元，是海寧市2021年重點引進的半導體領域產(chǎn)業(yè)項目。

　　萬業(yè)企業(yè)表示，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)披露，2020年全球半導體設備銷售額712億美元，同比增長19%。受益于全球半導體設備業(yè)績提升，預計Compart Systems在下半年將繼續(xù)保持強勁的業(yè)績增長趨勢。

　　據(jù)了解，設備是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關鍵環(huán)節(jié)，而設備的核心零部件是更加薄弱的領域。據(jù)VLSI資料顯示，半導體設備制造中最關鍵的零部件大致分為5個類別，包括真空泵、RF電源、硅片傳送、氣體與液體控制及其它。