上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技（603690）”），成立于2000年，是一家在上交所上市的高新技術(shù)企業(yè)，公司從高純工藝系統(tǒng)起步，逐步拓展半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備、晶圓再生、光傳感及光學(xué)元器件業(yè)務(wù)。子公司波匯科技被評定為第一批專精特新小巨人，至純科技本身被評定為第二批專精特新小巨人。

　　至純科技主要產(chǎn)品和服務(wù)包括高純工藝系統(tǒng)、半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備、光傳感應(yīng)用及相關(guān)光學(xué)元器件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)藥、光伏、光纖、TFT-LCD、LED等領(lǐng)域。

　　目前公司高純工藝系統(tǒng)正逐步實現(xiàn)系統(tǒng)、設(shè)備乃至元器件層的全面國產(chǎn)替代；濕法設(shè)備也已切入【中芯國際(688981)、股吧】、華虹集團(tuán)等一線客戶。

　　立足高純工藝系統(tǒng) 深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域

　　圍繞著國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展的方向，至純科技抓住集成電路支柱產(chǎn)業(yè)的國產(chǎn)化機(jī)遇，以高純工藝系統(tǒng)為出發(fā)點，不斷擴(kuò)充半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)品線。

　　截至目前，至純科技主營業(yè)務(wù)主要包括高純工藝系統(tǒng)、半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備及光傳感應(yīng)用及相關(guān)光學(xué)元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，三項業(yè)務(wù)營收占比分別為63.12%、29.23%及7.45%。由此可見，高純工藝系統(tǒng)收入規(guī)模最大。

　　2015年，至純科技開始啟動濕法工藝裝備、光傳感及光器件的研發(fā)。隨著業(yè)務(wù)應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，2019年新納入二項業(yè)務(wù)開始貢獻(xiàn)收入，并取得顯著的成績。2021年上半年，半導(dǎo)體設(shè)備銷售營收同比整增長254.02%。

　　經(jīng)過二十余載的努力，至純科技已憑借技術(shù)資質(zhì)優(yōu)勢、客戶優(yōu)勢等，在市場上保持領(lǐng)先地位。

　　技術(shù)資質(zhì)方面：至純科技重視研發(fā)創(chuàng)新，研發(fā)支出占比持續(xù)提升，研發(fā)支出占收入比重持續(xù)提升。公司研發(fā)支出由2016年的0.12億元增加到2020年的1.5億元，占收入比重由4.56%上升到10.74%。

　　截至2021年上半年，公司專利申請455項（其中發(fā)明專利200項），已授權(quán)專利270項（其中發(fā)明專利65項），軟件著作權(quán)142件。

　　在高純工藝領(lǐng)域，公司已形成了以不純物控制的高純工藝系統(tǒng)為核心，涵蓋泛半導(dǎo)體、生物制藥等下游行業(yè)前沿需求的核心技術(shù)體系，并成功完成了多項高純工藝系統(tǒng)核心設(shè)備及相關(guān)控制軟件的研發(fā)，通過使用自制設(shè)備與軟件替代外購。

　　在濕法設(shè)備領(lǐng)域，公司治理打造高端濕法設(shè)備制造開發(fā)平臺，已具備生產(chǎn)8-12寸高階單晶圓濕法清洗設(shè)備和槽式濕法清洗設(shè)備的相關(guān)技術(shù)。

　　在光傳感器與光電子技術(shù)領(lǐng)域，公司產(chǎn)品線豐富，在模式識別智能算法領(lǐng)域能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高響應(yīng)、低延時的大數(shù)據(jù)分析能力。

　　客戶優(yōu)勢方面：憑借高純工藝技術(shù)的先發(fā)優(yōu)勢，目前公司高純工藝系統(tǒng)已經(jīng)切入一線用戶，用戶有中芯國際、華虹華力、華潤、士蘭微（600460）、長江存儲、長鑫存儲、海力士，三星，臺積電，力晶等等，是下游行業(yè)的領(lǐng)先者。

　　半導(dǎo)體濕法設(shè)備領(lǐng)域客戶有中芯國際、北京燕東、TI、華潤等；光傳感領(lǐng)域有國家電網(wǎng)、南方電網(wǎng)、中國石油、霍尼韋爾等知名企業(yè)。

　　半導(dǎo)體行業(yè)高速發(fā)展 濕法設(shè)備訂單量價齊升

　　半導(dǎo)體行業(yè)是一個周期性較強(qiáng)的行業(yè)，主要由下游產(chǎn)品更新迭代來帶動。

　　近年來，5G手機(jī)、自動駕駛和數(shù)據(jù)信息等需求激增，驅(qū)動半導(dǎo)體行業(yè)高速增長。隨著中國大陸下游電子產(chǎn)品需求的爆發(fā)式增長和一系列政策的大力扶持，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中心正在由韓國、中國臺灣向中國大陸轉(zhuǎn)移。

　　受益于集成電路產(chǎn)業(yè)高景氣度，2021年上半年至純科技高純系統(tǒng)業(yè)務(wù)及半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)訂單大幅增加，產(chǎn)品銷售量價齊升，營業(yè)收入同比+76.51%，歸屬于上市公司股東的凈利潤同比+395.51%。

　　同時，公司整體業(yè)務(wù)新增訂單17.2億元，達(dá)到去年全年新增訂單的88%。其中，整個半導(dǎo)體及元件概念新增訂單14.2億元，已超過去年13.6億元的訂單規(guī)模，濕法設(shè)備新增訂單4.3億元，達(dá)到上一年度全年濕法設(shè)備訂單的85%。

　　清洗設(shè)備作為半導(dǎo)體專用設(shè)備，是生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備，屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)。

　　隨著半導(dǎo)體芯片工藝技術(shù)節(jié)點進(jìn)入28納米、14納米等更先進(jìn)等級，工藝流程的延長且越趨復(fù)雜，對雜志的忍耐性越低，小尺寸污染物的高效清洗顯得尤為重要，每個晶片在整個制造過程中需要甚至超過200道清洗步驟。

　　因此，半導(dǎo)體工藝技術(shù)的進(jìn)步亦推動半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展，包含但不限于清洗設(shè)備。

　　值得關(guān)注的是，半導(dǎo)體清洗是貫穿產(chǎn)業(yè)鏈的重要工藝環(huán)節(jié)，無論是半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造還是封裝階段，均需要用到，清洗工序的技術(shù)時影響芯片成品率、質(zhì)量的必要因素之一。因此導(dǎo)體行業(yè)高速發(fā)展，帶動了至純科技濕法設(shè)備訂單大規(guī)模提升。

　　在全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備方面，主要的濕法設(shè)備廠商以日本和歐美為主，國內(nèi)目前有三家在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)（002371）和盛美，國內(nèi)廠商的市場占比在逐年上升中。

　　至純科技提供的濕法設(shè)備主要包含濕法槽式清洗設(shè)備及濕法單片式清洗設(shè)備，應(yīng)用于集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)、平板顯示等領(lǐng)域。目前至純科技是國內(nèi)能提供到28納米節(jié)點全部濕法工藝的本土供應(yīng)商。

　　目前，公司濕法設(shè)備已經(jīng)切入一線用戶，用戶有中芯國際、華虹集團(tuán)、長鑫存儲、華潤、燕東、臺灣力晶等等，均為所在下游行業(yè)的領(lǐng)先者。