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    上海新陽:公司KrF光刻膠已有小批量訂單,暫無EUV光刻膠計劃

    來源: 互聯(lián)網(wǎng) 作者:佚名

    摘要: 近日,有投資者在投資者互動平臺向上海新陽提問,公司由于研發(fā)euv光刻膠的打算?krf光刻膠何時批量生產(chǎn)?

      近日,有投資者在投資者互動平臺向【上海新陽(300236)、股吧】提問,公司由于研發(fā)euv光刻膠的打算?krf光刻膠何時批量生產(chǎn)?

      上海新陽方面回應(yīng)道:公司KrF光刻膠已有小批量訂單,暫無EUV光刻膠研發(fā)計劃。

      早在今年六月底,上海新陽就發(fā)表了一個公告。公告指出,上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司(以下簡稱“公司”)自主研發(fā)的KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品近日已通過客戶認(rèn)證,并成功取得第一筆訂單。

      按照他們的說法,KrF(248nm)厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化是公司第三大核心技術(shù)——光 刻技術(shù)的重要方向之一,本次產(chǎn)品認(rèn)證的通過及訂單的取得,標(biāo)志著“KrF(248nm) 厚膜光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”?取得了成功,為公司在光刻技術(shù)領(lǐng)域目標(biāo)的全面完成奠定了堅實基礎(chǔ)。

      新陽表示,光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料,廣泛應(yīng)用于350nm-14nm甚至?7nm?技術(shù)節(jié)點的集成電路制造工藝。隨著國內(nèi)晶圓廠建設(shè)的不斷增多,以 及國外光刻膠巨頭產(chǎn)能受限,供需緊張,國內(nèi)對光刻膠產(chǎn)品的需求也將快速增長, 公司光刻膠產(chǎn)品的訂單取得意義重大,將對公司該類產(chǎn)品的認(rèn)證及銷售產(chǎn)生積極 的作用,有利于公司業(yè)務(wù)的長期發(fā)展。

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    上海新陽

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