8月16日消息，【彤程新材(603650)、股吧】（603650）宣布，擬通過公司全資子公司-上海彤程電子材料有限公司（簡稱，彤程電子）在上?；瘜W工業(yè)區(qū)內(nèi)使用自籌資金6.9853億元，投資建設“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設項目”，項目預計于 2023年末建設完成。

　　據(jù)介紹，項目主要研究 ArF 濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開發(fā)，通過建立標準化的生產(chǎn)及控制流 程，提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平，實現(xiàn) 193nm 濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn)；同時，逐步建立先進的集成電路及配套材料開發(fā)與應用評價平臺。

　　【彤程新材(603650)、股吧】稱，根據(jù)公司發(fā)展戰(zhàn)略，進一步深化公司在電子材料領域的業(yè)務布局，彌補國內(nèi)光刻膠技術(shù)與全球先進水平的差距，研究ArF光刻膠，特別是193nm濕法光刻膠的工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)，確定193nm光刻膠工程化放大技術(shù)、標準的生產(chǎn)流程及質(zhì)量管控體系，研發(fā)生產(chǎn)光刻膠高端產(chǎn)品。