維宏股份(300508)09月11日在投資者關(guān)系平臺上答復(fù)了投資者關(guān)心的問題。

　　投資者：光刻機(jī)由三大核心系統(tǒng)，數(shù)萬個(gè)零件組成，是產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)頂尖公司通力合作的成果。1）光源方面，DUV采用準(zhǔn)分子激光器，技術(shù)掌握在Cymer和Gigaphoton手中，國內(nèi)科益虹源打破壟斷；EUV光源是通過高功率CO2激光器轟擊Sn滴而來，高功率激光器為核心組件。

　　維宏股份董秘：您好。光刻領(lǐng)域?qū)儆诔芗庸ゎI(lǐng)域。我們激光目前還主要是大幅面的宏加工。我認(rèn)為，只從商業(yè)角度看，光刻機(jī)的控制系統(tǒng)，很難由獨(dú)立的第三方控制系統(tǒng)提供產(chǎn)品。單套控制系統(tǒng)產(chǎn)品價(jià)格肯定會更高，但是光刻機(jī)的出貨量太小了，而且摩爾定律可知，它的升級迭代速度又很高。所以，對于第三方獨(dú)立控制系統(tǒng)公司而言，投入產(chǎn)出比會很低，收益率不劃算。更可能的情況是，光刻機(jī)整機(jī)廠商自研。