荷蘭光刻機(jī)沒有想象中強(qiáng)大,我們的光刻機(jī)雖然還在努力但也不弱
摘要: 荷蘭光刻機(jī)沒有想象中強(qiáng)大,其次,2017年,荷蘭ASML研發(fā)的EUV 光刻機(jī)勉強(qiáng)達(dá)到商業(yè)要求,3400B二代EUV 光刻機(jī)每小時(shí)可加工125片晶圓!但是到了2019年,三代機(jī)3400C真的跨越了,每一代機(jī)的水平都沒有多大提升,連研發(fā)費(fèi)用都沒了!
荷蘭光刻機(jī)沒有想象中強(qiáng)大,我們的光刻機(jī)雖然還在努力但也不弱。我們經(jīng)常聽說EUV刻機(jī)器,它在7納米后取代了芯片生產(chǎn)的原DUV光刻機(jī)器。前者沒有工藝級(jí)限制,后者在最高工藝級(jí)只能達(dá)到7nm。但是,目前只有荷蘭的ASML能制造EUV 光刻機(jī)!
然而,華為事件給我們敲響了警鐘,中國(guó)科學(xué)院沖進(jìn)光刻機(jī)器領(lǐng)域,要求布局克服相應(yīng)的技術(shù)難題,消息來自國(guó)外媒體。荷蘭阿斯莫爾慌了!不是說荷蘭ASML科技是第一嗎?怎么改?事實(shí)上,荷蘭ASML并沒有那么強(qiáng)大!
荷蘭光刻機(jī)沒有想象中強(qiáng)大。
首先,EUV光刻已經(jīng)存在了很長(zhǎng)時(shí)間,但它不是最近幾年的產(chǎn)物。但是,EUV 光刻當(dāng)時(shí)只停留在實(shí)驗(yàn)室階段,無法大規(guī)模進(jìn)入工業(yè)應(yīng)用,從而取代工廠!問題的關(guān)鍵在于光刻工廠提供的生產(chǎn)能力和性能不能滿足芯片的生產(chǎn)要求。
例如,在2014年,ASML實(shí)驗(yàn)室階段的EUV 光刻機(jī)器每小時(shí)只能處理10個(gè)晶片。顯然,它根本無法滿足臺(tái)積電, 三星, 英特爾和其他芯片制造商的“胃口”;不僅如此,高昂的成本超出了人們的想象!市場(chǎng)不會(huì)接受這樣的光刻機(jī)器!
其次,2017年,荷蘭ASML研發(fā)的EUV 光刻機(jī)勉強(qiáng)達(dá)到商業(yè)要求,3400B二代EUV 光刻機(jī)每小時(shí)可加工125片晶圓!但是到了2019年,三代機(jī)3400C真的跨越了,每一代機(jī)的水平都沒有多大提升,連研發(fā)費(fèi)用都沒了!
最后,荷蘭ASML將于2021年發(fā)布3400D。據(jù)說性能提升只有18%!特別是荷蘭的ASML沒有那么強(qiáng)大,產(chǎn)能很低。就連最近去世的三星, 李健熙的兒子李在镕,也曾在荷蘭!的ASML總部搶購(gòu)商品。
為什么荷蘭的ASML正忙著推出一款新的光刻機(jī)器?荷蘭ASML忙著推出新機(jī)器是有原因的,但是性能不高!芯片概念。
我們的光刻機(jī)雖然還在努力但也不弱。
首先,是我們國(guó)內(nèi)對(duì)布局光刻飛機(jī)的需求!畢竟中國(guó)科學(xué)院實(shí)力很強(qiáng),荷蘭ASML只是一個(gè)公司!我們只能抓緊開發(fā)新機(jī)器來維持我們的市場(chǎng)地位!
其次,是光刻機(jī)器的技術(shù)。事實(shí)上,光刻機(jī)器最重要的是光源。EUV 光刻機(jī)光源13.5nm,成熟的DUV 光刻機(jī)主要使用193nm。波長(zhǎng)越短,工藝水平越高,物鏡數(shù)量也是影響因素之一。數(shù)值越高,光刻裝置提供的加工水平越高,這些物鏡都是手工拋光的!

事實(shí)上,荷蘭的ASML也是一個(gè)組裝制造商,沒有太多的技術(shù)。光源技術(shù)主要由美國(guó),提供,物鏡由蔡司,德國(guó)提供
最后,是中科院的實(shí)力。雖然沒多久中科院就正式宣布了布局光刻機(jī),但是其他人的技術(shù)都是一流的,很多。中科院微電子研究所開發(fā)的關(guān)鍵圖形篩選技術(shù)也有效提高了光刻機(jī)的分辨率,提升了技術(shù)水平!這是荷蘭ASML無法比擬的,技術(shù)優(yōu)先于荷蘭ASML!
中國(guó)光刻將加油!
雖然荷蘭ASML公司有大大小小的問題,但ASML確實(shí)壟斷了整個(gè)高端光刻機(jī)的市場(chǎng),我們不得不承認(rèn),承認(rèn)別人比我們強(qiáng)沒什么!技術(shù)上一個(gè)是一個(gè),從來沒有臉這種東西!做科研自知很重要!
荷蘭光刻機(jī)沒有想象中強(qiáng)大,我們的光刻機(jī)雖然還在努力但也不弱。
荷蘭ASML非常有自知之明,它知道自己的問題,所以它不斷推出新的光刻機(jī)器,并希望保持領(lǐng)先地位!我們也應(yīng)該有自知之明,努力解決芯片的困難問題。
荷蘭,光刻機(jī)








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