潤欣科技(300493.SZ):已參與投資建設(shè)國內(nèi)首個8英寸PZT薄膜化MEMS生長與加工平臺
摘要: 5月9日丨潤欣科技(300493.SZ)于2024年05月09日召開業(yè)績說明會,就“在PZT壓電薄膜工藝研究及平臺建設(shè)項(xiàng)目上的投資回報(bào)預(yù)期是怎樣的?”,公司回復(fù)稱,
5月9日丨潤欣科技(300493.SZ)于2024年05月09日召開業(yè)績說明會,就“在PZT壓電薄膜工藝研究及平臺建設(shè)項(xiàng)目上的投資回報(bào)預(yù)期是怎樣的?”,公司回復(fù)稱,項(xiàng)目支撐PZT壓電薄膜沉積共性關(guān)鍵技術(shù),包括低應(yīng)力壓電堆積薄膜沉積工藝、高機(jī)電耦合MEMS工藝、多層壓電薄膜沉積,已參與投資建設(shè)國內(nèi)首個8英寸PZT薄膜化MEMS生長與加工平臺,為傳感器廠商提供加工與工藝測試服務(wù)。項(xiàng)目預(yù)期2025年量產(chǎn)。

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