原標(biāo)題：中微半導(dǎo)體欲與臨港片區(qū)合作，打造擺脫“卡脖子”半導(dǎo)體基地

　　昨日，首屆“臨港新片區(qū)投資論壇”在上海舉行，國內(nèi)集成電路、人工智能、生物醫(yī)藥、國際貿(mào)易與跨境物流等領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)龍頭、大型金融與投資機(jī)構(gòu)等參與此次會議。

　　國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，臨港新片區(qū)承載國家戰(zhàn)略使命，立足‘卡脖子’和新興產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)的創(chuàng)新發(fā)展，對集成電路產(chǎn)業(yè)政策支持力度非常大，這里將成為世界級先進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)高地。【中微公司(688012)、股吧】希望建立一個臨港半導(dǎo)體設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)基地，其中有研發(fā)中心、大規(guī)模生產(chǎn)基地、銷售和結(jié)算中心、產(chǎn)品投資平臺，集成電路工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺。

　　據(jù)悉，中微公司是我國集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)，目前開發(fā)的產(chǎn)品以集成電路前道生產(chǎn)的等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備為主，并已逐步開發(fā)應(yīng)用于后道先進(jìn)封裝、MEMS、Mini LED、Micro LED 等領(lǐng)域的泛半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品。

　　作為科創(chuàng)板首批上市企業(yè)，中微半導(dǎo)體成立于 2004 年 5 月，是我國集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)，主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。自成立以來，其主要業(yè)務(wù)是開發(fā)加工微觀器件的大型真空工藝設(shè)備。

　　中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已在臺積電、中芯國際、海力士、長江存儲、格羅方德、博世、意法半導(dǎo)體等國際一線客戶從 65 納米到 14 納米、7 納米和 5 納米的集成電路加工制造及先進(jìn)封裝中有具體應(yīng)用。中微公司的 MOCVD 設(shè)備在【三安光電(600703)、股吧】（600703）、璨揚(yáng)光電、華燦光電（300323）、乾照光電（300102）等行業(yè)領(lǐng)先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)，公司已成為世界排名前列、國內(nèi)占領(lǐng)先地位的氮化鎵基 LED 設(shè)備制造商。

　　目前，其開發(fā)的產(chǎn)品以集成電路前道生產(chǎn)的等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備為主，并已逐步開發(fā)應(yīng)用于后道先進(jìn)封裝、MEMS、Mini LED、Micro LED 等領(lǐng)域的泛半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品。

　　值得關(guān)注的是，作為科創(chuàng)板首批上市企業(yè)、國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭廠商，中微公司也備受關(guān)注。中微公司近期發(fā)布公告稱，公司、公司控股子公司中微匯鏈科技(上海)有限公司及公司全資子公司中微半導(dǎo)體設(shè)備(廈門)有限公司自 2019 年 11 月 21 日至 2019 年 12 月 5 日，累計獲得政府補(bǔ)助款項共計人民幣 2,535.83 萬元。