5月26日,金力泰（300225）在投資者互動(dòng)平臺(tái)回復(fù)稱(chēng)國(guó)產(chǎn)光刻膠龍頭企業(yè)杜爾考特是上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司的合格供應(yīng)商,超微弧氧化技術(shù)可應(yīng)用于光刻機(jī)設(shè)備零部件的表面處理與其他半導(dǎo)體芯片集成電路的表面處理上。公司的合資公司上海金杜新材料科技有限公司近日完成了工商注冊(cè)手續(xù),目前暫未產(chǎn)生營(yíng)業(yè)收入。

　　據(jù)介紹,超微弧氧化技術(shù)是一種鋁、鎂和鈦合金表面納米陶瓷功能化膜制備技術(shù),包括超耐蝕性、超耐磨性、抗力學(xué)沖擊以及上述指標(biāo)優(yōu)化兼容綜合防護(hù)膜的工業(yè)化加工技術(shù),可應(yīng)用于光刻機(jī)所使用的鋁合金黑色光學(xué)工藝,亦可廣泛應(yīng)用于其他半導(dǎo)體芯片集成電路領(lǐng)域。

　　此前,美方加大對(duì)華為限制,限制晶圓廠采用美國(guó)設(shè)備為華為代工。雖然國(guó)內(nèi)設(shè)備龍頭在刻蝕機(jī)、PVD等領(lǐng)域已有長(zhǎng)足進(jìn)展,但部分產(chǎn)品如光刻機(jī)仍待突破,目前在12寸線上還難以形成全套供應(yīng)體系,已經(jīng)成為自主可控待突破的最重要一環(huán)。

　　產(chǎn)業(yè)鏈人士認(rèn)為,本次美方禁令會(huì)進(jìn)一步倒逼晶圓廠加大對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備材料供應(yīng)鏈的扶持力度,加速設(shè)備材料龍頭的國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。金力泰與國(guó)產(chǎn)光刻膠龍頭企業(yè)杜爾考特合資企業(yè)的上海金杜新材料科技有限公司核心技術(shù)為超微弧氧化技術(shù),公司表示未來(lái)會(huì)深入研究超微弧氧化技術(shù),并積極探索該技術(shù)未來(lái)的應(yīng)用領(lǐng)域,加快光刻機(jī)領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)替代步伐。