5月27日消息，南大光電（300346）公告，公司承接的國家“02專項(xiàng)”之“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行；2019年底完成一條生產(chǎn)線的安裝，正在調(diào)試階段。2020年4月，公司采購的用于檢測(cè)ArF（193nm）光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠，5月開始進(jìn)行安裝調(diào)試，預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司制備ArF（193nm）光刻膠用的高純?cè)牧蟻碓从谧灾餮邪l(fā)，研制出的ArF（193nm）光刻膠樣品正在供客戶測(cè)試。目前“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”正處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段，驗(yàn)證過程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月，甚至更長的時(shí)間。