本報記者 施露

　　4月16日晚間，萬業(yè)企業(yè)（600641）發(fā)布了2020年年度報告，公告顯示公司實現(xiàn)營收9.31億元，實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤3.15億元；扣除非經(jīng)常性損益后，實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤2.52億元。

　　2020年，萬業(yè)企業(yè)持續(xù)深化向集成電路裝備材料方向轉(zhuǎn)型，公司控股子公司凱世通持續(xù)擴大研發(fā)投入，研發(fā)費用同比增長671.05%，其開發(fā)的低能大束流離子注入機進入國內(nèi)主流12英寸晶圓制造工廠正在完成驗證，并獲得多個集成電路離子注入機訂單；同時萬業(yè)企業(yè)牽頭收購全球領先的集成電路設備所需氣體輸送系統(tǒng)精密零組件及流量控制解決方案供應商CompartSystems，延伸布局集成電路設備產(chǎn)業(yè)鏈，進一步深化公司戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型。

　　產(chǎn)品喜獲驗收

　　轉(zhuǎn)型步入收獲期

　　萬業(yè)企業(yè)抓住國產(chǎn)關鍵設備剛性需求增加的時機，加速離子注入機產(chǎn)品商用化推進，取得重大商業(yè)訂單突破。2020年9月，上海凱世通的集成電路離子注入機產(chǎn)品已搬入12英寸主流集成電路晶圓制造的客戶工廠，并進入產(chǎn)線驗證階段，首臺設備預計在2021年二季度完成客戶端的工廠驗證工作。2020年12月，北京凱世通與芯成科技（紹興）有限公司簽署了3個12英寸集成電路設備訂單，目前正在依據(jù)交付目標制訂生產(chǎn)計劃并積極推進。截至報告期末，北京凱世通共獲得4個集成電路離子注入機設備訂單，迎來了商業(yè)客戶及多型號訂單的重大突破。另一方面，上海凱世通超越7納米離子注入平臺已通過客戶驗證并驗收，工藝制造水平逐步提高，業(yè)務放量在即。

　　值得注意的是，萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通團隊逐年增加產(chǎn)品研發(fā)力度，不斷加速推進集成電路離子注入機的創(chuàng)新發(fā)展。2020年8月，上海凱世通的“大束流離子注入機裝備及工藝研發(fā)”項目榮獲北京市科技進步一等獎。2020年9月，上海凱世通承擔的“集成電路設備射頻電源系統(tǒng)研發(fā)與驗證”項目進入上海市2020年度“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路科技支撐專項名單。2020年10月，北京凱世通榮獲iStellar-500SEMI認證證書。

　　多頭并舉

　　開拓協(xié)同發(fā)展新格局

　　近年來，萬業(yè)企業(yè)堅持產(chǎn)業(yè)升級，積極布局集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。報告期內(nèi)，萬業(yè)企業(yè)戰(zhàn)略投資安徽富樂德，富樂德是一家半導體設備精密洗凈行業(yè)的領軍者，在產(chǎn)品和市場上都構筑了獨具的競爭優(yōu)勢，其控股股東為上海申和熱磁電子有限公司（簡稱“申和熱”），而申和熱為日本上市公司FerroTec（簡稱“Ferro集團”）的全資子公司。Ferro集團總部位于日本，是一家國際知名半導體產(chǎn)品與解決方案供應商，該公司的產(chǎn)品線豐富，在半導體設備密封零部件、半導體設備陶瓷器件的細分領域皆為全球龍頭。萬業(yè)企業(yè)對富樂德的戰(zhàn)略投資，為布局集成電路設備產(chǎn)業(yè)鏈向下延伸，也將與現(xiàn)有的半導體行業(yè)多項業(yè)務形成協(xié)同效應。

　　2020年12月，萬業(yè)企業(yè)領頭境內(nèi)外財團完成對全球領先的集成電路設備所需的氣體輸送系統(tǒng)領域精密零組件及流量控制解決方案供應商CompartSystems的收購，此次收購交易基準價格為3.98億美元，為近年來該領域最大規(guī)模的中資企業(yè)跨境并購交易。由于化學氣體產(chǎn)品的特殊性，半導體工藝中氧化/擴散、蝕刻和沉積工藝需要用到精確的氣體輸送系統(tǒng)，以確保工藝純度和提高安全性。CompartSystems是集成電路設備里最為關鍵核心的氣體輸送系統(tǒng)領域供應商之一，其主要產(chǎn)品包括BTP（BuiltToPrint）組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，產(chǎn)品用于集成電路制造工藝中氧化/擴散、蝕刻和沉積等設備所需的精確氣體輸送系統(tǒng)；同時是全球極少可完成該領域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)，為半導體客戶提供高階氣體流量控制器（MFC）組裝的公司之一。

　　CompartSystems也可為半導體、工業(yè)、航空航天、石油天然氣領域內(nèi)客戶提供包括高精度金屬加工部件，質(zhì)量流量控制器、控制閥組件等產(chǎn)品，客戶群體覆蓋全球知名集成電路設備公司和領先的工業(yè)企業(yè)。

　　據(jù)相關報告顯示，目前中國本土集成電路設備由平均數(shù)千種零組件構成，平均國產(chǎn)化率為10%-30%，核心關鍵零組件幾乎為零。萬業(yè)企業(yè)收購CompartSystems將有助于提升集成電路設備所需的氣體輸送系統(tǒng)及高精度流量控制等領域核心組件與部件的國產(chǎn)化率，填補本土相關供應鏈空白領域。

　　（編輯 李波）