興發(fā)集團(tuán)：已研發(fā)出晶圓減薄液、晶圓制絨液、多晶硅蝕刻液等8種電子級(jí)蝕刻液產(chǎn)品
摘要： 經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，公司在電子級(jí)蝕刻液領(lǐng)域已經(jīng)形成了具備較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的技術(shù)儲(chǔ)備
有投資者向興發(fā)集團(tuán)提問(wèn)，公司目前電子級(jí)蝕刻液技術(shù)實(shí)力如何？
公司回答表示，經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，公司在電子級(jí)蝕刻液領(lǐng)域已經(jīng)形成了具備較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的技術(shù)儲(chǔ)備。截至2019年末，公司已研發(fā)出晶圓減薄液、晶圓制絨液、多晶硅蝕刻液等8種電子級(jí)蝕刻液產(chǎn)品， 2019年產(chǎn)量合計(jì)超過(guò)6300噸，其中供給8寸及以上半導(dǎo)體生產(chǎn)線的接近500噸，成功開(kāi)拓中芯國(guó)際、華虹宏力、廣州粵芯等多家知名半導(dǎo)體及顯示面板客戶。2019年，公司承擔(dān)極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝項(xiàng)目（“國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)”）子課題――高選擇性金屬鎢去除液的定制開(kāi)發(fā)。該項(xiàng)目旨在針對(duì)3D NAND和DRAM等存儲(chǔ)芯片的需求定制開(kāi)發(fā)高性能蝕刻液系類(lèi)產(chǎn)品，產(chǎn)品性能直接對(duì)標(biāo)國(guó)際先進(jìn)水平。目前項(xiàng)目進(jìn)展順利，已進(jìn)入上線測(cè)試階段。2020年1月，公司作為第一完成單位主持完成的“芯片用超高純電子級(jí)磷酸及高選擇性蝕刻液生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)”項(xiàng)目獲得2019年度國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)，突破了芯片用超高純電子級(jí)磷酸和高選擇性蝕刻液的進(jìn)口替代難題。
興發(fā)集團(tuán)
