萬(wàn)順新材:PECVD是指等離子體增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積法EB電子束蒸鍍是物理氣相沉積的一種
摘要: 根據(jù)公司披露,高阻隔膜項(xiàng)目采用電子束技術(shù),不過(guò)據(jù)了解,PECVD技術(shù)也可以生產(chǎn)阻隔性達(dá)到10-6的高阻隔膜。
5月20日訊,有投資者向【萬(wàn)順新材(300057)、股吧】(300057)提問(wèn), 董秘您好,根據(jù)公司披露,高阻隔膜項(xiàng)目采用電子束技術(shù),不過(guò)據(jù)了解,PECVD技術(shù)也可以生產(chǎn)阻隔性達(dá)到10-6的高阻隔膜,請(qǐng)問(wèn)電子束技術(shù)和PECVD技術(shù)在生產(chǎn)高阻隔膜中的優(yōu)劣勢(shì),公司怎么看?謝謝
公司回答表示,您好,兩種技術(shù)的不同點(diǎn):1.PECVD是指等離子體增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積法,該技術(shù)利用含薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì),在襯底表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法。EB電子束蒸鍍是物理氣相沉積的一種,該技術(shù)利用電磁場(chǎng)精準(zhǔn)高能轟擊被蒸鍍耙材,使之氣化而附著在基材表面上。2.兩種方法都能形成高阻隔膜層,但適應(yīng)的基材有差異,PECVD多為片狀基材,且速度慢,生產(chǎn)效率較低,而EB電子束蒸鍍可適應(yīng)柔性卷簡(jiǎn)基材,速度快,生產(chǎn)效率高。3.PECVD設(shè)備可用以加工處理片基太陽(yáng)能電池片等電子器件,而EB卷對(duì)卷柔性蒸鍍主要用于生產(chǎn)PET阻隔保鮮膜,也可生產(chǎn)部分電子元器件所需高阻隔膜材料。4.PECVD存在著制程化學(xué)污染及防治問(wèn)題,而EB電子束蒸鍍是一種物理過(guò)程,環(huán)保性更優(yōu)。謝謝您的關(guān)注。

萬(wàn)順新材








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