精測(cè)電子(300567)

　　子公司上海精測(cè)半導(dǎo)體官方微信公眾號(hào)發(fā)布， 精積微已于本周斬獲兩臺(tái)明場(chǎng)檢測(cè) BFI100 型設(shè)備訂單，該型號(hào)設(shè)備主要用于 65nm-180nm 的半導(dǎo)體產(chǎn)線制程監(jiān)控。首臺(tái)設(shè)備將于今年 10 月出機(jī)。

　　支撐評(píng)級(jí)的要點(diǎn)

　　明場(chǎng)檢測(cè)一般用于有圖形晶圓的缺陷檢測(cè)。明場(chǎng)檢測(cè)通過高質(zhì)量的光學(xué)成像檢測(cè)尺寸遠(yuǎn)小于光學(xué)衍射極限的缺陷，對(duì)光學(xué)鏡頭加工與安裝精度、運(yùn)動(dòng)控制精度、照明光源亮度、抑制圖像采集噪聲、數(shù)據(jù)處理能力等都有極高的要求，往往接近同等工藝節(jié)點(diǎn)光刻機(jī)的苛刻技術(shù)要求。相比之下，暗場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備通過探測(cè)缺陷的光散射信號(hào)實(shí)現(xiàn)檢測(cè)，較易獲得足夠的信噪比，其技術(shù)難度與系統(tǒng)復(fù)雜程度小于明場(chǎng)設(shè)備，因此明場(chǎng)設(shè)備往往比同一產(chǎn)線上暗場(chǎng)設(shè)備價(jià)格高出許多。

　　明場(chǎng)檢測(cè)新產(chǎn)品推出，打破被 KLA、 Applied Materials 等壟斷的競(jìng)爭(zhēng)格局。作為半導(dǎo)體前道檢測(cè)必備的主設(shè)備，明場(chǎng)檢測(cè)的核心技術(shù)一直被國外幾家公司壟斷，據(jù) Gartner 數(shù)據(jù)，KLA 在有圖形晶圓檢測(cè)領(lǐng)域的市占率達(dá)到72%。此次精積微 BFI100 作為國內(nèi)首個(gè)量產(chǎn)型號(hào)的明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備，將有助于客戶在該領(lǐng)域獲得更高性價(jià)比的設(shè)備選型與應(yīng)用服務(wù)。

　　精積微將推進(jìn)明場(chǎng)檢測(cè)的產(chǎn)品迭代。BFI100 型明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備使用了紫外波段照明與可見光波段照明, 其檢測(cè)靈敏度超越光學(xué)衍射極限，可以廣泛應(yīng)用于芯片制造關(guān)鍵制程的關(guān)鍵缺陷檢測(cè)，如邏輯器件（LOGIC）、功率器件、Si- OLED、 DRAM、 2D- NAND 等光刻后光刻膠橋聯(lián)，蝕刻后金屬走線短路和斷線等關(guān)鍵缺陷。在 BFI100 推出的同時(shí)，上海精積微將用更大的力度進(jìn)行針對(duì) 28nm 工藝節(jié)點(diǎn)的明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備 BFI200 的關(guān)鍵零組件與整機(jī)系統(tǒng)的研發(fā)，力爭(zhēng)盡快實(shí)現(xiàn)更高工藝節(jié)點(diǎn)明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)目標(biāo)。

　　上海精測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品布局引領(lǐng)半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備國產(chǎn)化。明場(chǎng)檢測(cè)新產(chǎn)品推出，將拉動(dòng)公司在量測(cè)設(shè)備環(huán)節(jié)的服務(wù)市場(chǎng)規(guī)模翻倍，據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，明場(chǎng)檢測(cè)占到量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的 1/3，而已布局膜厚、OCD、電子束缺陷檢測(cè)三大類設(shè)備合計(jì)也只占到量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的 1/3。 相比國內(nèi)南京中安、埃芯半導(dǎo)體、睿勵(lì)、東方晶圓、中科飛測(cè)等量測(cè)企業(yè)，上海精測(cè)半導(dǎo)體目前目前布局相對(duì)更多的產(chǎn)品類型并獲得部分批量重復(fù)訂單。

　　盈利預(yù)測(cè)及評(píng)級(jí)

　　鑒于公司新產(chǎn)品推出，新客戶拓展等有顯著進(jìn)展，預(yù)測(cè) 21-23 年凈利潤(rùn)為 2.68/3.26/3.76 億元，維持買入評(píng)級(jí)。

　　評(píng)級(jí)面臨的主要風(fēng)險(xiǎn)

　　國際地緣政治摩擦的不確定性，零部件緊缺導(dǎo)致訂單交付延遲。

　　該股最近90天內(nèi)共有1家機(jī)構(gòu)給出評(píng)級(jí)，買入評(píng)級(jí)1家。證券之星估值分析工具顯示，精測(cè)電子（300567）好公司評(píng)級(jí)為3.5星，好價(jià)格評(píng)級(jí)為2.5星，估值綜合評(píng)級(jí)為3星。(評(píng)級(jí)范圍：1 ~ 5星，最高5星)