光刻機一直是我國芯片制造路上的最大障礙，但近日清華大學發(fā)布的一種新型粒子加速器光源 “穩(wěn)態(tài)微聚束”（SSMB）技術，有望解決自主研發(fā)光刻機中最核心的卡脖子難題。SSMB原理是什么？SSMB工作原理就是利用一定波長的激光操控位于儲存環(huán)MLS內的電子束，使電子束繞環(huán)一整圈后形成精細的微結構，即微聚束。然后，微聚束在激光波長及其高次諧波上輻射出高強度的窄帶寬相干光。SSMB能為EUV光刻機做什么？眾所周知，5nm及以下的芯片必須要極紫外光的EUV光刻機才能完成。而SSMB技術，可以通過穩(wěn)態(tài)微聚束的電子流可以激發(fā)窄帶寬相關光。這個光源的波長可覆蓋從太赫茲到極紫外EUV波段。也就是說，它有可能成為EUV光刻機光源的新技術。同時，基于SSMB技術的光源，擁有高功率、高重頻、窄帶寬的特點。而這些特點也正是EUV光刻機希望提升的地方。EUV光刻機光源的功率越高，芯片刻錄速度就越快。這次清華大學工研究組發(fā)布的SSMB技術，是EUV光刻機領域的一個重大突破。為國產(chǎn)EUV光刻機奠定了技術基礎，也為將來不被卡脖子掃平了一個障礙。