消息，英杰電氣(300820)05月27日在投資者關(guān)系平臺上答復(fù)投資者關(guān)心的問題。

　　投資者：董秘你好，目前國內(nèi)DUV光刻機已經(jīng)在攻關(guān)當中，貴司之前的半導(dǎo)體電梯主要和中微合作在刻蝕機方面，我想請問在光刻機方面貴司電源是否有技術(shù)儲備或者已經(jīng)在進行技術(shù)攻關(guān)？

　　英杰電氣董秘：您好，據(jù)我們了解，光刻機核心技術(shù)難點集中于光學(xué)系統(tǒng)、精密機械與運動控制等方面，相比之下，電源并非光刻機研發(fā)最核心、最具挑戰(zhàn)性的技術(shù)瓶頸。公司當前研發(fā)的半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)電源，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片的刻蝕、薄膜沉積、等離子注入、清洗、去膠這些工序環(huán)節(jié)以及半導(dǎo)體材料制造設(shè)備上，謝謝您的關(guān)注。

　　以上內(nèi)容為據(jù)公開信息整理，由AI算法生成（網(wǎng)信算備310104345710301240019號），不構(gòu)成投資建議。