近日，CINNO Research公布最新統(tǒng)計的中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備廠商市場規(guī)模數(shù)據(jù)，2023年上半年，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備廠商前十大公司營業(yè)收入合計超過160億元，同比增長39%，其中科創(chuàng)板上市公司占據(jù)七個席位。

　　據(jù)統(tǒng)計，目前科創(chuàng)板作為我國半導(dǎo)體公司主要上市地，產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)日益完善，已匯聚了十余家國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)，其中，中微公司、盛美上海、華海清科、拓荊科技分別位列中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備廠商市場規(guī)模排名的第二至五名，上半年營業(yè)收入均突破10億元大關(guān)。芯源微、華峰測控、新益昌分別位列第七、第九和第十名。

　　半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，在科創(chuàng)板的助力下，半導(dǎo)體設(shè)備公司正持續(xù)加大創(chuàng)新要素投入、推進(jìn)“卡脖子”領(lǐng)域的科研攻關(guān)，有力推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化進(jìn)程。同時，調(diào)整后的半導(dǎo)體行業(yè)回暖趨勢已現(xiàn)，長期來看半導(dǎo)體設(shè)備公司發(fā)展前景仍值得期待。

　　重點(diǎn)公司在手訂單充沛

　　從基本面情況看，科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司在手訂單充沛，在行業(yè)周期性下行之際仍保持較高的成長性。據(jù)9月27日盛美上海自愿性公告披露，公司在手訂單總金額為67.96億元：其中已簽訂合同訂單總額65.26億元，同比增長約4成；已中標(biāo)尚未簽訂合同訂單2.7億元，同比增長近16倍。盛美上海在手訂單充沛，保障收入持續(xù)穩(wěn)健增長，今年上半年公司營業(yè)收入和歸母凈利潤分別同比增長46.94%和85.74%。

　　晶升股份、中科飛測、中微公司、華海清科4家公司的歸母凈利潤增速超過100%。其中，晶升股份今年4月在科創(chuàng)板上市，公司的半導(dǎo)體級單晶硅爐已達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平，28nm以上制程工藝已實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。2023年上半年受益于銷售規(guī)模擴(kuò)大，批量訂單驗收量增加，公司實現(xiàn)營業(yè)收入1.14億元，同比增長75.79%，歸母凈利潤1508.77萬元，同比增長447.17%。

　　中微公司同樣在半年報中表示，公司產(chǎn)品訂單正在持續(xù)增長。上半年，公司實現(xiàn)營業(yè)收入25.27億元，同比增長28.13%，公司的刻蝕設(shè)備市場占有率不斷提高。在國際最先進(jìn)的5納米芯片生產(chǎn)線及下一代更先進(jìn)的生產(chǎn)線上，公司的CCP刻蝕設(shè)備實現(xiàn)了多次批量銷售，已有超過200臺反應(yīng)臺在生產(chǎn)線合格運(yùn)轉(zhuǎn)。公司的ICP刻蝕設(shè)備不斷地核準(zhǔn)更多刻蝕應(yīng)用，迅速擴(kuò)大市場并不斷收到領(lǐng)先客戶的批量訂單。

　　推動產(chǎn)業(yè)鏈自主可控

　　從板塊角度，設(shè)立四年多以來，科創(chuàng)板已支持超過100家半導(dǎo)體公司上市，約占A股同行業(yè)公司6成，IPO募資超過2800億元，涵蓋上游芯片設(shè)計、中游晶圓代工及下游封裝測試等三大主產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，兼?zhèn)浒雽?dǎo)體制造設(shè)備、材料及IP、EDA芯片設(shè)計工具等支撐環(huán)節(jié)。

　　其中，半導(dǎo)體設(shè)備作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)乃至整個電子行業(yè)發(fā)展的基石，對于半導(dǎo)體國產(chǎn)化具有非常關(guān)鍵的戰(zhàn)略意義。從國產(chǎn)化率來看，國內(nèi)部分低端制程設(shè)備逐步實現(xiàn)國產(chǎn)替代，但高端制程設(shè)備仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口。根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)數(shù)據(jù)，2022年中國晶圓廠商半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率較2021年明顯提升，從21%提升至35%。

　　業(yè)內(nèi)人士分析，現(xiàn)階段，國產(chǎn)設(shè)備對于28nm及以上制程的工藝覆蓋度趨于完整，正在積極推進(jìn)14nm及以下制程的工藝突破，產(chǎn)品處于密集驗證期并逐步開啟規(guī)?；慨a(chǎn)階段。目前去膠設(shè)備、清洗設(shè)備等國產(chǎn)化率較高，而光刻設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、量/檢測設(shè)備的國產(chǎn)化率尚處于較低水平。

　　目前，科創(chuàng)板上市的半導(dǎo)體設(shè)備公司達(dá)到12家，覆蓋涂膠顯影、刻蝕、清洗、薄膜沉積、化學(xué)機(jī)械拋光、測試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)設(shè)備。其中，中微公司(刻蝕設(shè)備)、拓荊科技(薄膜沉積設(shè)備)、芯源微(涂膠顯影設(shè)備)、盛美上海(清洗設(shè)備)、華海清科(化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備)等公司代表著國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的最先進(jìn)水平。

　　事實上，在資本市場助力下，科創(chuàng)板半導(dǎo)體公司自上市以來不斷加大研發(fā)力度，2022年全年研發(fā)投入金額達(dá)到27.61億元，同比增長42%。研發(fā)投入帶動創(chuàng)新成果不斷突破，有力推動半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。例如，芯源微的涂膠顯影設(shè)備成功從“后道”工藝切入“前道”工藝，在多項關(guān)鍵技術(shù)方面打破國際廠商壟斷，取得重大突破。華海清科在納米級拋光、納米精度膜厚在線檢測、納米顆粒超潔凈清洗、大數(shù)據(jù)分析及智能化控制等關(guān)鍵技術(shù)層面取得了有效突破和系統(tǒng)布局。9月26日，該公司公告，首臺12英寸單片終端清洗機(jī)HSC-F3400機(jī)臺出機(jī)發(fā)往國內(nèi)大硅片龍頭企業(yè)，是公司繼CMP設(shè)備、減薄設(shè)備之后，在濕法設(shè)備系列產(chǎn)品中推出的又一項重要成果。

　　業(yè)內(nèi)稱行業(yè)有望加速走出周期底部

　　受經(jīng)濟(jì)周期下行、地緣沖突等多因素影響，自2022年全球半導(dǎo)體市場出現(xiàn)結(jié)構(gòu)性分化，行業(yè)進(jìn)入下行周期。展望未來趨勢，研究人士預(yù)測，今年上半年半導(dǎo)體行業(yè)周期處于筑底階段，隨著經(jīng)濟(jì)復(fù)蘇、消費(fèi)回升，我國半導(dǎo)體行業(yè)有望加速走出周期底部。從科創(chuàng)板半導(dǎo)體公司2023年第二季度業(yè)績看，合計實現(xiàn)營業(yè)收入538.08億元，環(huán)比上漲18%，實現(xiàn)歸母凈利潤55.37億元，環(huán)比上漲49%，業(yè)績回暖明顯。

　　太平洋證券在近期研報中分析稱，根據(jù)研究機(jī)構(gòu)Omida統(tǒng)計，2023年第二季度半導(dǎo)體行業(yè)營收1243億美元，環(huán)比增長3.8%，結(jié)束了連續(xù)5個季度的下行趨勢。隨著消費(fèi)電子等傳統(tǒng)需求的逐步回暖及生成式人工智能等新需求的拉動，半導(dǎo)體行業(yè)周期觸底在即，后續(xù)有望迎來復(fù)蘇。

　　平安證券則認(rèn)為，中短期內(nèi)，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成熟制程有望快速拓展，形成存量國產(chǎn)替代和產(chǎn)業(yè)增量拓展的雙重推手；外部市場環(huán)境優(yōu)越，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商迎來前所未有的機(jī)遇。遠(yuǎn)期看，先進(jìn)制程快速發(fā)展，半導(dǎo)體工藝復(fù)雜度大幅提高，對半導(dǎo)體設(shè)備的市場需求也隨之攀升，待國內(nèi)先進(jìn)制程取得突破后，對設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈將起到巨大的帶動作用。

　　值得關(guān)注的是，近期美國出口管制政策出現(xiàn)調(diào)整。10月13日，BIS(美國商務(wù)部工業(yè)和安全局)正式宣布延長三星、SK海力士在華工廠出口管制豁免，該規(guī)則將于10月17日生效。中信證券對此分析稱，隨著三星和SK海力士在華工廠成功獲得“無限期豁免”，未來這兩家公司在華工廠可以繼續(xù)升級和擴(kuò)產(chǎn)，原有的不確定性被大大消除，外資晶圓制造廠在華資本開支有望持續(xù)投入，驅(qū)動設(shè)備零部件訂單向好，設(shè)備零部件企業(yè)有望受益。