蘇大維格(300331.SZ)牽頭的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項項目通過綜合驗收
摘要: 互聯(lián)網(wǎng)7月23日丨蘇大維格(300331)(300331.SZ)公布,公司牽頭的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應(yīng)用”項目由公司聯(lián)合上海理工大學(xué)、中國科學(xué)院上海光學(xué)精
互聯(lián)網(wǎng)7月23日丨【蘇大維格(300331)、股吧】(300331)(300331.SZ)公布,公司牽頭的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應(yīng)用”項目由公司聯(lián)合上海理工大學(xué)、中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所、中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、南開大學(xué)等6家單位共同完成。該項目總體目標包括攻克納米干涉細分、納秒時序下空間調(diào)制同步與納米精度控制、3D導(dǎo)航Z-校正和海量數(shù)據(jù)處理的關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)紫外空間光調(diào)制、共焦成像檢測關(guān)鍵部件和大數(shù)據(jù)量圖形軟件,研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的納米圖形化直寫與成像檢測儀器等。項目主要解決了微納結(jié)構(gòu)光場的可調(diào)控技術(shù)、圖形的高速率寫入機制、微納結(jié)構(gòu)與納米精度多軸光機系統(tǒng)的設(shè)計與可靠性等難題;面向無掩模光刻,研制了紫外激光直寫光刻的關(guān)鍵技術(shù)、軟件和裝備;實現(xiàn)了從納米光子晶體結(jié)構(gòu)到微米級任意結(jié)構(gòu)的高效率光刻,與目前其他激光直寫技術(shù)相比,速度更快、效率更高。
公司于近日收到由國家科學(xué)技術(shù)部下發(fā)的驗收文件【國科資函[2019]14號】,公司牽頭的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應(yīng)用”項目進展順利,進度和成果產(chǎn)出達到任務(wù)書要求的考核指標,順利通過綜合驗收。
此次“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應(yīng)用”項目的驗收通過,在研發(fā)創(chuàng)新與技術(shù)進步、推動國產(chǎn)科學(xué)儀器進口替代、支撐重大需求與重點工程等方面取得了較好的成就,對提高公司研發(fā)創(chuàng)新能力、提升產(chǎn)品的核心競爭力具有積極的推動作用,有利于促進公司產(chǎn)品升級,為公司健康、可持續(xù)發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ)。
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