消息，匯成真空(301392)07月05日在投資者關(guān)系平臺(tái)上答復(fù)投資者關(guān)心的問題。

　　投資者：董秘你好，公司設(shè)備模塊化設(shè)計(jì)，可結(jié)合等離子清洗（Plasma-clean）單元，磁控濺射（SPT）單元，等離子增強(qiáng)化學(xué)反應(yīng)（PECVD）單元，原子層沉積（ALD）單元，以及等離子化學(xué)反應(yīng)刻蝕（RIE）單元，拓展成簇式微納加工中心，涵蓋半導(dǎo)體微納結(jié)構(gòu)加工的基材清洗、薄膜沉積（含超薄薄膜）和圖案化刻蝕整套工序。請(qǐng)問刻蝕設(shè)備跟清洗設(shè)備公司有這方面技術(shù)積累嗎？

　　匯成真空董秘：公司已掌握真空腔體及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)、真空環(huán)境機(jī)械裝置設(shè)計(jì)技術(shù)、溫控系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)、電弧蒸發(fā)源設(shè)計(jì)技術(shù)、磁控濺射靶設(shè)計(jì)技術(shù)、弧光電子束增強(qiáng)離子清洗裝置技術(shù)、卷對(duì)卷真空鍍膜設(shè)備設(shè)計(jì)技術(shù)、真空連續(xù)生產(chǎn)線設(shè)計(jì)技術(shù)等核心技術(shù)，公司將繼續(xù)加強(qiáng)技術(shù)積累，提升研發(fā)水平，感謝關(guān)注。

　　投資者：董秘您好，請(qǐng)問貴公司的簇式微納加工中心是國(guó)內(nèi)首創(chuàng)嗎，是否申請(qǐng)專利?

　　匯成真空董秘：公司一直致力于研發(fā)新設(shè)備、拓展新領(lǐng)域，公司專利情況已在招股書中披露，感謝關(guān)注。