A股 “光刻機第一股”要來了。

　　9月17日，上交所發(fā)布科創(chuàng)板上市委會議審議結(jié)果，北京華卓精科科技股份有限公司(下稱“華卓精科”)首發(fā)獲通過。

　　來源：上交所官網(wǎng)

　　華卓精科主要研究、開發(fā)以及生產(chǎn)超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發(fā)服務，是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，其已進入國產(chǎn)光刻機廠商上海微電子的供應鏈。

　　值得一提的是，聯(lián)席主承銷商中金公司是華卓精科的第八大股東，持股比例為3.06%。2019年3月，國家大基金一期子基金上海半導體裝備材料基金出資4200萬元參與了華卓精科的增資，現(xiàn)持有其2.08%的股權。

　　深耕半導體精密測控領域

　　華卓精科的主要產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng)、晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤等。

　　據(jù)了解，精密運動系統(tǒng)的主要功能為承載被加工或被測量零部件實現(xiàn)精密運動或定位。華卓精科的精密運動系統(tǒng)關鍵性能參數(shù)達到國際同類設備水平，可廣泛應用于半導體晶圓AOI檢測、LCD及OLED檢測與切割、PCB板曝光制造、生物檢測等行業(yè)。

　　來源：招股書

　　晶圓級鍵合設備旨在將兩片晶圓高精度對準、接合，工藝復雜。華卓精科打破EV Group在國內(nèi)混合鍵合領域的壟斷。目前，公司已與上海集成電路研發(fā)中心有限公司形成了良好的合作關系。截至7月31日，公司晶圓級鍵合設備在手訂單金額為9520.45萬元。

　　華卓精科HBS系列全自動晶圓混合鍵合系統(tǒng)

　　來源：公司官網(wǎng)

　　激光退火設備指采用高能激光束對晶圓進行自動化退火的專用設備。目前，華卓精科聚焦于40-14nm的IC前道激光退火設備的研發(fā)，推動了我國高端IC前道激光退火設備領域的發(fā)展。公司激光退火設備在手訂單充足，截至7月31日，訂單金額為1.33億元。

　　靜電卡盤的主要作用是吸附硅片、玻璃或其他掩模類物品并使吸附物保持較好的平坦度。華卓精科開發(fā)出了12英寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上打破了國外廠商在該產(chǎn)品領域內(nèi)的長期壟斷局面。

　　精密運動系統(tǒng)是華卓精科的第一大收入來源，2020年的銷售額為9655.11萬元，收入占比達63.47%。同期，晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤的銷售額分別為1364.60萬元、1637.17萬元、122.35萬元，收入占比分別為8.97%、10.76%、0.80%。

　　來源：公司官網(wǎng)

　　華卓精科介紹，公司的晶圓級鍵合設備產(chǎn)品落后競爭對手；激光退火設備在部分指標上仍處于劣勢；精密運動系統(tǒng)在產(chǎn)品線的豐富度方面落后于國際龍頭企業(yè)；靜電卡盤在產(chǎn)品線構成、應用制程和應用領域等方面仍有待加強。

　　已有光刻機雙工件臺交付

　　光源、光學系統(tǒng)和工件臺是光刻機的三大核心組件。華卓精科目前已具備小批量生產(chǎn)光刻機雙工件臺的能力。

　　來源：招股書

　　所謂雙工件臺，即在一臺光刻機內(nèi)有兩個承載晶圓的工件臺，一個做曝光，一個做測量，同時運行，可大幅提高芯片的生產(chǎn)效率。

　　不過，華卓精科的光刻機雙工件臺業(yè)務尚未實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。公司解釋說，光刻機工件臺產(chǎn)業(yè)化情況除受公司產(chǎn)品開發(fā)進度影響外，還受光刻機整機及系統(tǒng)部件的技術發(fā)展等因素的影響。

　　2020年4月，華卓精科首臺干式雙工件臺產(chǎn)品通過用戶測試，交付客戶。2021年1月、4月又分別向光刻機整機單位交付了1臺干式雙工件臺。公司表示，隨著下游客戶需求的提升，公司生產(chǎn)的光刻機雙工件臺數(shù)量將逐漸增加。

　　光刻機技術難度高，有半導體制造設備“皇冠”之稱。目前，國際上的光刻機廠商主要有ASML、尼康和佳能，其中ASML引領光刻機進入EUV時代。國內(nèi)研制光刻機整機的廠商為數(shù)不多，主要是上海微電子，中國電科旗下的電科裝備也有布局。

　　來源：上海微電子官網(wǎng)

　　有觀點認為，國內(nèi)廠商有望在今年開發(fā)出可用于生產(chǎn)28納米芯片的干式雙工件臺光刻機，并計劃2022年開發(fā)出可用于生產(chǎn)28納米芯片的浸沒式雙工件臺光刻機。

　　華卓精科表示，隨著國內(nèi)晶圓產(chǎn)能的建設和擴產(chǎn)，中國將成為全球晶圓產(chǎn)能增長的重心，公司光刻機雙工件臺產(chǎn)業(yè)化具有良好的市場預期。