?。ㄓ浾?宋維東）【芯源微(688037)、股吧】（688037）8月27日晚發(fā)布2021年半年報(bào)。上半年，公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入3.51億元，同比增長461.85%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤3506.99萬元，同比增長464.05%。

　　芯源微主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環(huán)節(jié)）。

　　芯源微表示，公司堅(jiān)持以市場(chǎng)方向和客戶需求為導(dǎo)向，不斷對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行技術(shù)完善和革新，持續(xù)加大自主研發(fā)力度。報(bào)告期內(nèi)，公司研發(fā)支出4939.76萬元，占營業(yè)收入的14.08%。截至2021年6月30日，公司共獲得專利授權(quán)212項(xiàng)。其中，發(fā)明專利159項(xiàng)（中國大陸地區(qū)發(fā)明專利143項(xiàng)，中國臺(tái)灣地區(qū)發(fā)明專利14項(xiàng)，美國發(fā)明專利2項(xiàng)），實(shí)用新型專利31項(xiàng)，外觀設(shè)計(jì)專利22項(xiàng)；擁有軟件著作權(quán)49項(xiàng)。

　　在市場(chǎng)銷售方面，公司生產(chǎn)的前道涂膠顯影設(shè)備已陸續(xù)獲得上海華力、長江存儲(chǔ)、武漢新芯、中芯紹興、廈門士蘭集科、上海積塔、株洲中車、青島芯恩、中芯寧波、昆明京東方等多個(gè)前道大客戶訂單；前道Spin Scrubber清洗機(jī)設(shè)備已在【中芯國際(688981)、股吧】、上海華力、廈門士蘭集科等多個(gè)客戶處通過工藝驗(yàn)證，并已獲得國內(nèi)多家Fab廠商的批量重復(fù)訂單。

　　涂膠顯影設(shè)備與單片式濕法設(shè)備已經(jīng)從先進(jìn)封裝領(lǐng)域、LED領(lǐng)域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領(lǐng)域，作為主流機(jī)型應(yīng)用于臺(tái)積電、長電科技（600584）、華天科技（002185）、通富微電（002156）、【晶方科技(603005)、股吧】（603005）、華燦光電（300323）、乾照光電（300102）、澳洋順昌、中芯紹興、中芯寧波等國內(nèi)一線大廠。公司通過借鑒前道產(chǎn)品的先進(jìn)設(shè)計(jì)理念和技術(shù)，對(duì)后道設(shè)備、小尺寸設(shè)備的架構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，提升了工藝水平和產(chǎn)品產(chǎn)能。應(yīng)用了前道先進(jìn)設(shè)計(jì)理念及技術(shù)的后道產(chǎn)品在國內(nèi)多家封裝大廠Fan-out產(chǎn)線應(yīng)用，目前已經(jīng)成為客戶端的主力量產(chǎn)設(shè)備。

　　截至目前，公司生產(chǎn)的用于集成電路前道晶圓加工領(lǐng)域及后道先進(jìn)封裝、LED、MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領(lǐng)域的涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備已累計(jì)出廠1000余臺(tái)套。